日照远程等离子源RPS腔体功能性氧化膜

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RPS腔体功能性氧化膜是专用于半导体制造行业远程等离子源RPS腔体的功能性氧化膜。该膜层对无微裂纹、高强度、耐酸性、绝缘性及低释气性等8项指标，是保障半导体制造所必须的。

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